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發(fā)布者：變頻器維修部    來源：上海仰光電子工程部     發(fā)布時(shí)間：2021-5-19

  RF射頻電源有輸出電壓，但輸出電壓過高

這種故障忘完來自穩(wěn)壓取樣和穩(wěn)壓控制電路。我們知道，直流輸出、取樣電阻、誤差取樣放大器、光電耦合器和電源控制芯片等電路共同構(gòu)成一個(gè)閉合的控制環(huán)路，在這一環(huán)節(jié)中，任何一處出現(xiàn)問題都會導(dǎo)致輸出電壓升高。

對于有過壓保護(hù)電路的電源，輸出電壓過高首先會使過壓保護(hù)電路動(dòng)作，此時(shí)，可斷開過壓保護(hù)電路，使過壓保護(hù)電路不起作用，測開機(jī)瞬間的電源主電壓。如果測量值比正常值高，說明輸出電壓高。實(shí)際維修中，以取樣電阻變值、誤差放大器或光電耦合器不良常見。

  RF射頻電源輸出電壓過低

根據(jù)維修經(jīng)驗(yàn)，除穩(wěn)壓控制電路會引起輸出電壓過低外，還有一些原因會引起輸出電壓過低。主要有以下幾點(diǎn)。

a.開關(guān)電源負(fù)載有短路故障。此時(shí)，因斷開開關(guān)電源電路的所有負(fù)載，以區(qū)分是開關(guān)電源不良還是負(fù)載電路有故障。若斷開負(fù)載電路電壓輸出正常，說明是負(fù)載過重，若仍不正常，說明開關(guān)電源有故障。

b.輸出電壓整流二極管，濾波電容失效等，可以通過代換法進(jìn)行判斷。

c.開關(guān)管的性能下降，必然導(dǎo)致開關(guān)管不能正常導(dǎo)通，使電源的內(nèi)阻增加，帶負(fù)載能力下降。

d.開關(guān)變壓器不良，不但造成輸出電壓下降，還會造成開關(guān)管激勵(lì)不足而屢損開關(guān)管。

e.大濾波電容（即300V濾波電容）不良，造成電源帶負(fù)載能力差，一接負(fù)載輸出電壓便下降。

一、RF Generator射頻電源維修和配套直流電源

1、  AE（ADVANCED ENERGY）射頻電源/直流電源

2、  MKS ENI射頻電源/直流電源

3、  DAIHEN射頻電源

4、  KYOSAN射頻電源/直流電源

5、  COMDEL射頻電源

6、  ADTEC射頻電源

7、  SEREN射頻電源

二、RF MATCH(射頻電源匹配網(wǎng)絡(luò))

1、  AE （Advanced Energy） RF Match Network

2、  LAM RF Match Network

3、  AMAT RF Match Network

4、  SEREN RF MATCH NETWORK

5、  DAIHEN RF Match Network

6、  SEREN RF Match Network

三、高壓電源

1、  HiTek Power supply高壓電源

2、  ADVANCE HIVOLT高壓電源

3、  Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高壓電源

4、  GLASSMAN高壓電源

5、  SPELLMAN高壓電源

6、  Varian高壓電源

7、  其他品牌

四、直流電源

1、  LAMDBA ESS/EMI直流電源

2、  Delta ELEKTRONIKA直流電源

3、  SORENSEN直流電源

4、  AMETEK可編程電源

5、  POWER TEN直流電源

6、  燈絲電源、X射線電源

7、  曝光燈電源USHIO（ Mercury lamp power supply）

五、微波電源發(fā)生器

1、  ASTeX AGL系列微波電源Microwave Generator

2、  MUEGGE Microwave Power Supply微波電源

3、  ASTeX Smart Match

六、RPSC

      MKS 2L

      MKS 3L

      MKS 6L

      MKS 8L

      MKS 15L

      MKS 22L

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