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發(fā)布者：變頻器維修部    來源：上海仰光電子工程部     發(fā)布時(shí)間：2021-6-18

  維修目前：CLX系列低頻電源、CLF系列低頻電源、CX系列高頻電源、CX5K和CX10K高頻射頻功率源、CXH系列高功率/高頻電源、CPS系列高頻電源、CB系列高頻射頻電源、CV系列甚頻（VHF）電源、CDX系列雙頻電源、XDC1000直流電源、MATCH自動(dòng)調(diào)諧網(wǎng)絡(luò)、ESC系列靜電夾盤電源
  仰光電子有豐富的維修經(jīng)驗(yàn)。我們的維修具有成功率高、維修速度快，價(jià)格優(yōu)惠等優(yōu)點(diǎn)，能提供現(xiàn)場(chǎng)維修及調(diào)試服務(wù)。

電源維修：大功率開關(guān)電源維修，AE電源維修，RF射頻電源維修，高頻電源維修，高壓電源維修，高頻直流電源維修，主機(jī)電源維修，中頻電源維修，UPS電源維修，UPS不間斷電源維修，應(yīng)急電源維修，逆變電源維修，通信電源維修，IGBT電源維修，12v開關(guān)電源維修,電力電源維修，模塊電源維修，航天/工業(yè)電源維修，EPS電源維修，醫(yī)療電源維修，網(wǎng)絡(luò)電源維修，射頻電源維修。

 射頻電源常見故障及維修方法：

故障現(xiàn)象1：打開電源，電源指示燈不亮；

故障現(xiàn)象2：電源燈亮了，預(yù)熱燈不亮；

故障現(xiàn)象3：電源燈亮了，預(yù)熱燈亮、輝光亮，匹配器功率及反射功率，電源的功率指示和電流指示不正常。（正常的功 率指針指到220，電流指示0.4）

故障現(xiàn)象4：電源燈亮了，預(yù)熱燈亮，輝光不亮:；

故障現(xiàn)象5：無功率輸出；

故障現(xiàn)象6：有功率輸出，但是調(diào)不大，或是調(diào)不到正常值。

故障現(xiàn)象7：無反射功率，或反射功率過大，射頻功率源壞；

  電源維修范圍：

 刻蝕、RIE、PECVD、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等工藝設(shè)備電源維修，進(jìn)口設(shè)備工業(yè)電源、中科院射頻電源、高頻電源、美國(guó)AE電源維修 ,也可作為工廠業(yè)系統(tǒng)中感應(yīng)加熱和電介質(zhì)加熱設(shè)備的電源 CLX系列低頻電源、CLF系列低頻電源、CX系列高頻電源、CX5K和CX10K高頻射頻功率源、CXH系列高功率/高頻電源、CPS系列高頻電源、CB系列高頻射頻電源、CV系列甚頻（VHF）電源、CDX系列雙頻電源、XDC1000直流電源、MATCH自動(dòng)調(diào)諧網(wǎng)絡(luò)、ESC系列靜電夾盤電源 ,美國(guó)AE電源維修，美國(guó)MDX,MDXII,Pinnacle，Pinnacle，Diamond系列

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