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發(fā)布者：伺服驅(qū)動(dòng)器維修部    來(lái)源：上海仰光電子科技有限公司     發(fā)布時(shí)間：2021-8-11

RF射頻電源常見(jiàn)故障及維修方法找上海仰光電子工業(yè)自動(dòng)化有保障，，，。我司維修涉及行業(yè)有半導(dǎo)體制造設(shè)備、光伏太陽(yáng)能生產(chǎn)設(shè)備、電鍍?cè)O(shè)備電源、公司擁有維修工程師團(tuán)隊(duì)，對(duì)各種大功率開(kāi)關(guān)電源、美國(guó)AE電源、RF射頻電源、高頻電源、高壓電源、交流可編程電源等有深厚的維修功底和豐富的維修經(jīng)營(yíng)。


DRFS-5SA RF射頻電源常見(jiàn)故障及維修方法：
射頻電源故障現(xiàn)象1.：有Ua無(wú)Ia
原因及解決辦法：射頻電源常見(jiàn)故障維修與安裝
Ua接線斷、表頭上雖有Ua而電子管上沒(méi)有；
 射頻電源故障現(xiàn)象2：有Ua，Ia小，無(wú)Pf和Pr。
原因及解決辦法：
一般是連接射頻源和匹配器或功率計(jì)的電纜插頭與插座接觸不良或根本沒(méi)有接觸上，用鉗子或鑷子將插座芯往里挾一下，用灑精棉球把插頭擦干凈再插上即可解決。
射頻電源故障現(xiàn)象3：有Ua，Ia較小，有Pf和Pr，但較大，調(diào)不下來(lái)，不起輝。
原因及解決辦法：
1) 匹配器輸出電纜插頭座之間接觸不上，解決辦法同“2）”；
2) 輸出電纜與電極接觸不良；
3) 電極與外殼短路；
射頻電源故障現(xiàn)象4：有Ua，Ia很大。
原因及解決辦法：
Ug1無(wú)激勵(lì)。

射頻電源安裝與調(diào)試
1. 電子管的安裝
打開(kāi)機(jī)箱上蓋，將電子管垂直向下插入管座，插到底，然后順時(shí)針旋轉(zhuǎn)大約60度（有限位），套上接線卡子，將螺釘旋緊一些，再蓋上機(jī)箱的上蓋。
注意用手拿電子管時(shí)，不能碰
陶瓷部位，以免手上汗跡沾在陶瓷
部位降低管子的耐壓。
2. 接線
如圖，注意射頻電纜接頭要旋
緊，電纜彎曲盡量自然一些。
3. 電源的檢查
在未正式與設(shè)備連調(diào)之前，或在工作過(guò)程中有異常，比如不起輝、
不穩(wěn)定、反向功率大等，可單獨(dú)檢查電源。
方法：用假負(fù)載替代真實(shí)負(fù)載，接通電源→開(kāi)啟開(kāi)關(guān)→當(dāng)紅色小燈亮后→“Ua調(diào)節(jié)”旋鈕逆時(shí)針調(diào)到頭→按下“Ua—ON”開(kāi)關(guān)→順時(shí)針調(diào)Ua到200伏（此時(shí)各表頭均有指示）→調(diào)匹配器（反復(fù)調(diào)）使反射功率最小，如果這時(shí)Ua、Ia、功率都正常，則可認(rèn)為電源工作正常。Ua×Ia×80%≈入射功率。
4. 起輝
在確認(rèn)射頻源正常后，即可接上真實(shí)負(fù)載進(jìn)行調(diào)試。
第一次起輝時(shí)，可將Ua調(diào)到400~500V，如果未起輝，反射功率會(huì)很大，調(diào)節(jié)耦合和調(diào)諧旋鈕使之起輝，暫且先不管反射功率有多大。如果不起輝，可降低真空度。磁控濺射真空度可降到數(shù)Pa。真空度低些容易起輝。如還不起輝，可采取短時(shí)間加大功率的方法。比如Ua加到700V，如果不起輝，馬上把Ua降一點(diǎn)，再調(diào)一下匹配器電容，再略加高Ua，如此重復(fù)進(jìn)行，直到起輝為止。即：
如果再不起輝，應(yīng)檢查反應(yīng)室及接線部分是否有問(wèn)題。
起輝后，調(diào)匹配器之電容使反射功率減小直到接近零。
如果起輝時(shí)真空度較低，起輝后可逐漸提高真空度.
5. 加功率
在起輝正常后，可提高功率，這里要注意的是，在初次起輝時(shí)，可能由于反應(yīng)或工作氣體不干凈，設(shè)計(jì)上欠合理等因素而使反應(yīng)室內(nèi)打火，這種情況功率不能提高。第二，在正常工作時(shí)，通常靶上所加功率為5~10W/cm2,極限功率約為20 W/cm2，所加功率不要超過(guò)極限值，否則會(huì)燒毀靶。
6. 幾個(gè)參考數(shù)據(jù)
射頻功率源駐波比≤1.5
磁控濺射功率密度5～10 W/cm2
磁控濺射壓強(qiáng)0.5～數(shù)Pa
自偏壓:100V～500V（自偏壓與真空度、功率密度、磁控強(qiáng)度、靶材等有關(guān)）
7. 幾種故障的判斷
在正常工作時(shí)，如果發(fā)生跳閘現(xiàn)象，則直流供電部分出現(xiàn)故障。
Ua突然變大時(shí)，電子管損壞的可能性大。
有Ua無(wú)Ia時(shí)，驅(qū)動(dòng)板有故障或高頻插頭接觸不良。
射頻功率源及其它儀表的安裝
射頻功率源通常用于和等離子設(shè)備配套，該設(shè)備除主機(jī)及射頻源以外，還有其它真空儀表，如質(zhì)量流量計(jì)、真空計(jì)、分子泵、溫控儀表、微機(jī)等，如果安裝不合理，射頻源會(huì)干擾這些真空儀表。
1) 射頻源的安裝：要將匹配器的機(jī)箱與真空室盡可能靠近，匹配器安裝在機(jī)柜內(nèi)的，要將機(jī)柜與真空室盡可能靠近，能直接與真空室或工作臺(tái)接觸最好，如無(wú)法接觸，要用紡織線以最短的距離將它們連接起來(lái)（功率較大的射頻源已與真空室接觸好）。
2) 其它儀表的安裝：a.測(cè)量線、控制線要用屏蔽線；b.電源輸入要加電源濾波器；c.質(zhì)量流量計(jì)的控制盒與真空室的連接，如可能的話，用絕緣管道。
3) 從真空室里引到真空室外的導(dǎo)線，如照明線、加熱線、測(cè)量控制線及其它電極的引線，在真空室內(nèi)耦合有很強(qiáng)的射頻信號(hào)，在引出真空室后，要加電容濾波，去掉射頻信號(hào)，濾波電容要用耐壓高一些的云母電容或CBB電容有時(shí)要用高功率瓷介電容。


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